Hmotnostní spektrometrie sekundárních iontů: Porovnání verzí
Smazaný obsah Přidaný obsah
verze 19994752 uživatele 89.176.167.110 (diskuse) zrušena, nevým, o jaký překlad se má jednat, ale informace jsou jiné značka: vrácení zpět |
.. doplněn/opraven popisek obr.; ERRATA shrn. předch. ed.: nevým → nevím |
||
Řádek 1:
[[Soubor:IMS3F pbmf.JPG|náhled|Podoba
'''Hmotnostní spektrometrie sekundárních iontů''', {{Vjazyce2|en|'''Secondary ion mass spectrometry'''}}, zkráceně '''SIMS''', je technika sloužící k analýze složení povrchů pevných látek a tenkých vrstev pomocí vyprašování povrchu bombardujícími ionty a shromažďováním (analyzováním) vyražených sekundárních iontů. Sekundární ionty emitované z povrchu materiálu pomocí "vyprašovacího" procesu se používají k analýze chemického složení materiálu. Tyto částice však představují jen malý zlomek částic emitovaných ze vzorku. Sekundární ionty se měří hmotnostním spektrometrem určující prvkové, izotopové, nebo molekulární složení povrchu. SIMS je jedna z nejcitlivějších analýz povrchů, která je schopna detekovat prvky, i když jsou přítomny řádově jen v nanometrových oblastech.
== Historie a vývoj metody ==
| |||