Verze z 29. 12. 2011, 14:02 editovat TXiKiBoT (diskuse \| příspěvky) 207 323 editací m r2.7.2) (Robot: Přidávám eu:Fotolitografia ← Přejít na předchozí porovnání		Verze z 9. 2. 2012, 22:30 editovat zrušit editaci JAnDbot (diskuse \| příspěvky) Roboti 1 716 378 editací m sjednocení pahýlů na jednotnou šablonu {{Pahýl}} dle Wikipedie:Žádost o komentář/Šablony pahýlů; kosmetické úpravy Přejít na další porovnání →
Řádek 1: '''Fotolitografie''' (nebo "optická litografie") je postup používaný při [[Mikrovýroba\|mikrovýrobě]] pro selektivní opracování částí tenkých vrstev nebo materiálu podložky ([[substrát~~\|substrátu~~]]u). Pro přenos geometrických obrazců (motivů) z [[Fotomaska\|fotomasky]] do chemického [[Fotorezist\|fotorezistu]] naneseného na podložce se používá světlo. Různé chemické postupy pak umožní opracovat vrstvu materiálu pod rezistem; buďto do něj ''vyrýt'' exponovaný motiv nebo nanést nový materiál do požadovaného motivu. Například při výrobě složitých [[Integrovaný obvod\|integrovaných obvodů]] [[CMOS]] procházejí křemíkové destičky fotolitografickým procesem až 50 krát. Fotolitografie sdílí některé základní principy s [[Fotografie\|fotografií]] v tom, že motivy se tvoří v rezistu vystaveném [[Světlo\|světlu]]; buď přímo (bez použití masky) nebo promítáním obrazu přes [[Optická maska\|optickou masku]] (projekční litografie). Tento postup je srovnatelný s vysoce přesnou variantou metody používané pro výrobu [[Plošný spoj\|desek plošných spojů]]. Další části postupu mají více společného s [[leptání]]m než s [[Litografie\|litografickým tiskem]]. Fotolitografie se používá proto, že umožňuje vytvářet malé motivy ([[UV]] varianta až do několika desítek [[nanometr]]ů). Dále umožňuje přesnou kontrolu tvarů a velikostí objektů, které se vytvářejí. A navíc jsou motivy vytvářené projekční fotolitografií po celé ploše podložky Řádek 8: '''Fotolitografie''' je [[technologie\|technologický]] postup používaný například při výrobě [[polovodič\|polovodičových]] součástek. Na polovodičovou destičku se nanese vrstva fotorezistu, posléze se destička ozáří a projde [[vývojka\|vývojkou]]. Fotorezist poté chrání jím pokrytá místa před vyleptáním. --> {{Pahýl ~~- technologie~~}} [[Kategorie:Technologie]]

Fotolitografie: Porovnání verzí