Wikipedie

Fyzikální depozice z plynné fáze: Porovnání verzí

Interaktivně procházet historii
← Přejít na předchozí porovnáníPřejít na další porovnání →
Smazaný obsah Přidaný obsah
VizuálníWikitext
m, doplnění
odk, fmt přípr na přesun, zdroje 0, minipahýl
Řádek 1:
'''PVDFyzikální depozice z plynné fáze''' ({{vjazyce|en}} ''Physical Vapour Deposition'', zkratka '''PVD''') je označení skupiny technik vakuové depozice tenkých vrstev. Společným znakem těchto technik je skutečnost, že se zpravidla vychází z pevného substrátu (na rozdíl od technik [[CVDChemická depozice z plynné fáze|CVDChemické depozice]], kdy jsou reaktanty v plannéplynné fázi).
 
Mezi tyto techniky patří:
 
-* Vakuové napařování
-* Depozice elektronovým svazkem▼
 
-* Pulsní laserová depozice (PLD)▼
▲- Depozice elektronovým svazkem
-* Naprašování▼
 
▲- Pulsní laserová depozice (PLD)
 
▲- Naprašování
 
Výše jmenované povlakovací procesy probíhají ve [[vakuum|vakuu]] či kontrolované atmosféře při tlacích 10e-4 až 100 Pa.
Citováno z „https://cs.wikipedia.org/wiki/Fyzikální_depozice_z_plynné_fáze“