Hmotnostní spektrometrie sekundárních iontů: Porovnání verzí
Smazaný obsah Přidaný obsah
oprava preklepu "jsou jsou" u obrazku |
m překlepy |
||
Řádek 1:
[[Image:IMS3F pbmf.JPG|thumb|300px|right|Podoba dnešního zařízení SIMS]]
'''Secondary ion mass spectrometry''' (SIMS) je technika sloužící k analýze složení povrchů pevných látek a tenkých vrstev pomocí vyprašováním povrchu bombardujícími ionty a
ZZ
== Historie a vývoj metody==
Řádek 38:
== Aplikace ==
* Této metody se využívá pro zkoumání sloužení látek a jejich příměsí. Hojně se tedy využívá ve [[
* Používá se také pro zjišťování tloušťky vrstev molekul nebo prvků. Zkoumají se například vrstvu oxidu křemíku na syrovém křemíku, tak touto metodou lze zjistit šířku této vrstvy. Povrch vzorku se odprašuje a v detektoru zjišťujeme, jestli stále detekujeme ionty kyslíku. Až se přestanou tyto ionty detekovat, tak je jasné, že byla odprášena celá vrstvu oxidu křemíku. Tento čas je pak přímo úměrný tloušťce této vrstvy.
|