Rastrovací elektronový mikroskop: Porovnání verzí
Smazaný obsah Přidaný obsah
m robot přidal: ms:Mikroskop elektron pengimbas |
Bez shrnutí editace |
||
Řádek 6:
Na každé místo vzorku je zaměřen úzký paprsek elektronů (prochází jej po řádcích – odtud řádkovací). [[interakce elektronů s hmotou|Interakcí dopadajících elektronů]] s materiálem vzorku vznikají různě detekovatelné složky.
Jak paprsek putuje po vzorku, mění se podle charakteru povrchu úroveň signálu v detektoru. Z těchto signálů je pak sestavován výsledný obraz. Získaný obraz je standardně [[monochromatický]].
==Detektory SEM==
* SE detektor – [[detektor sekundárních elektronů]].
* BSE detektor – [[detektor zpětně odražených elektronů]].
* TE detektor – detektor prošlých elektronů.
* [[energiově disperzní spektroskopie|EDS]] / [[vlnově disperzní spektroskopie|WDS]]- detekce [[charakteristické rentgenové záření|charakteristického RTG záření]], používá se pro analýzu chemického složení vzorků. Metoda dokáže zjistit jaké prvky a v jakém množství se nacházejí ve vzorku.
* [[difrakce zpětně odražených elektronů|EBSD]] – [[difrakce zpětně odražených elektronů]], používá se pro krystalografickou analýzu vzorků. Metoda dokáže přesně zjistit orientaci krystalové mřížky ve studovaném vzorku.
== Elektronový tubus ==
| |||