Hmotnostní spektrometrie sekundárních iontů: Porovnání verzí

[[Image:IMS3F pbmf.JPG|thumb|300px|right|Podoba dnešního zařízení SIMS]]

'''Secondary ion mass spectrometry''' (SIMS) je technika sloužící k analýze složení povrchů pevných látek a tenkých vrstev pomocí vyprašování povrchu bombardujícím ionty a shromažďování (analyzování) vyražených sekundárních iontů. Sekundární ionty emitované z povrchu materiálu pomocí "vyprašovacího" procesu se používající se k analýze chemického složení materiálu, představují jen malý zlomek částic emitovaných ze vzorku. Tyto sekundární ionty se měří hmotnostním spektrometrem určující prvkové, isotopic, nebo molekulární složení povrchu. SIMS is the most sensitive surface analysis technique, being able to detect elements present in the parts per billion range. SIMS je jedna z nejcitlivějších analýz povrchů, která je schopna detekovat prvky, i když jsou přítomny řádově jen v nanometrových oblastech.