Fyzikální depozice z plynné fáze: Porovnání verzí
Smazaný obsah Přidaný obsah
m mínus; kosmetické úpravy |
Přidán odkaz na stránku o naprašování. značka: editace z Vizuálního editoru |
||
Řádek 6:
* Depozice elektronovým svazkem
* Pulsní laserová depozice (PLD)
*
Výše jmenované povlakovací procesy probíhají ve [[vakuum|vakuu]] či kontrolované atmosféře při tlacích 10<sup>−4</sup> až 100 [[Pascal (jednotka)|Pa]].
| |||