Hmotnostní spektrometrie sekundárních iontů: Porovnání verzí

m
odkaz
mBez shrnutí editace
m (odkaz)
=== Požadavky na vakuum ===
 
SIMS vyžaduje vysoké [[vakuum]] s tlakem pod 10<sup>-4</sup> [[Pascal (jednotka)|Pascalů]]ů (zhruba 10 <sup>-6</sup> mbarů nebo Torrů). Toto je třeba zajistit, aby sekundární proud iontů nereagoval s plyny na pozadí (vzduchem) na jeho cestě k detektoru (tento požadavek tedy znamená volnou cestu) a také zabraňuje kontaminaci povrchu vzorku adsorpcí částic plynu v průběhu měření.
 
=== Zdroje primárních iontů ===