Fyzikální depozice z plynné fáze: Porovnání verzí
Smazaný obsah Přidaný obsah
Mírné rozšíření (na seriozní úpravu není čas :o/ ) |
Bez shrnutí editace |
||
Řádek 1:
'''PVD''' ({{vjazyce|en}} ''Physical Vapour Deposition'') je označení skupiny technik vakuové depozice tenkých vrstev. Společným znakem těchto technik je skutečnost, že se zpravidla vychází z pevného substrátu (
Mezi tyto techniky patří:
- Vakuové napařování
- Depozice elektronovým svazkem
- Pulsní laserová depozice (PLD)
- Naprašování
| |||